
11 月 5 日 · 40 分钟

音频文字发布在公众号“北京读天下”,《价值创造与商业模式》在公众号微店有优惠。每周新书听友群微信号:yinmingshu002。
ASML 步进光刻机中的对准系统一直是关键竞争优势,它的LOGO就是掩膜和晶圆的对准标志。除了中心十字线,还有四个区用于接收光信号,通过调整四个区的光线强度实现对准,类似于激光导弹的对准原理。竞争对手的步进光刻机必须在每次曝光前测量晶圆位置,这种技术称为裸片对准技术。要耗费一定的时间,降低了吞吐量。而ASML使用单次测量,用机器确认晶圆位置,然后开始“飞盲”运动,直到整个晶圆被曝光,这种全局对准技术可以显著提高吞吐量。全局对准技术基于所谓的双对准技术,在晶圆的掩膜上使用两个参考标记。不仅可以使用双对准技术自动校正错误角度,还可以抵消从掩模到镜头距离变化时出现的放大倍率误差。双对准是 PAS 2500 开始的一个基本研发功能,范登布林克的贡献最大。到了PAS 5500,套刻精度已经可以达到85纳米。问题在于,有技术资源并不代表有市场。因为芯片厂商在做出采购决策时需要考虑多方面的因素。相对于资源本身,资源配置和资源的运用更加重要,这就需要管理者的贡献。


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ASML 步进光刻机中的对准系统一直是关键竞争优势,它的LOGO就是掩膜和晶圆的对准标志。除了中心十字线,还有四个区用于接收光信号,通过调整四个区的光线强度实现对准,类似于激光导弹的对准原理。竞争对手的步进光刻机必须在每次曝光前测量晶圆位置,这种技术称为裸片对准技术。要耗费一定的时间,降低了吞吐量。而ASML使用单次测量,用机器确认晶圆位置,然后开始“飞盲”运动,直到整个晶圆被曝光,这种全局对准技术可以显著提高吞吐量。全局对准技术基于所谓的双对准技术,在晶圆的掩膜上使用两个参考标记。不仅可以使用双对准技术自动校正错误角度,还可以抵消从掩模到镜头距离变化时出现的放大倍率误差。双对准是 PAS 2500 开始的一个基本研发功能,范登布林克的贡献最大。到了PAS 5500,套刻精度已经可以达到85纳米。问题在于,有技术资源并不代表有市场。因为芯片厂商在做出采购决策时需要考虑多方面的因素。相对于资源本身,资源配置和资源的运用更加重要,这就需要管理者的贡献。


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