张江高科与光刻机的关联主要体现在其通过子公司投资了上海微电子装备有限公司，从而间接涉足光刻机领域。上海微电子成立于2002年，专门从事半导体微影设备的研发、制造和销售，产品包括光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备等。在光刻机方面，上海微电子已具备90nm及以下的芯片制造能力，产品主要涉及ArF、KrF和i-line领域。上海微电子的出货量已占国内市场份额超过80%，是我国光刻机领域的领军企业。